基于飞蛾触角的仿生MEMS导航传感器的设计与仿真

• 作者: 刘俊 刘尧 唐军 张贺 温涣飞 石云波 赵锐 郭浩
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 仿生MEMS 三维角速度传感器 有限元分析 飞蛾触角
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 561-565
• 分类号: TP212
• 字数: 3681字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.05.001

摘要

以飞蛾触角导航为仿生依据,通过建立其导航数学模型,利用MATLAB对该模型的导航原理进行仿真分析,结合仿生学,设计了一种新型MEMS 三维角速度传感器模型,并对该传感器的加工工艺进行了设计,该传感器主要由折叠梁和坡莫合金棒组成,通过ANSYS分析,在9V驱动电压的作用下,合金棒沿X、Y的振动幅度可达到80μm,通过理论计算,由偏航角速度产生的哥氏力为0.908×10-8N/(°·s-1),由翻滚和俯仰角速度产生的哥氏力为0.18×10-9 N/(°·s-1).