超临界CO2环境中沉积薄膜材料的研究进展

• 作者: 张艳飞 杨俊和 赵斌 赵明涛
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 超临界流体 沉积 二氧化碳 薄膜
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 56-60
• 分类号: V444.34
• 字数: 4611字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-023X.2012.11.011

摘要

介绍了超临界流体沉积技术的基本原理及其沉积过程中的影响因素,综述了国内外关于超临界流体沉积技术制备金属、合金及氧化物薄膜材料的研究进展,并展望了今后的研究趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵斌	上海理工大学材料科学与工程学院	18	39	3.0	5.0
2	杨俊和	上海理工大学材料科学与工程学院	45	261	10.0	14.0
3	张艳飞	上海理工大学能源与动力工程学院	3	2	1.0	1.0
4	赵明涛	上海理工大学能源与动力工程学院	1	2	1.0	1.0