合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响

• 作者: 刘实 熊良银 马红伟
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 磁控溅射 Ti膜 合金化
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 744-748
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文

摘要

研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响.结果表明,合金化使Ti膜由α相结构转变为α+β双相结构,改变了薄膜的择优取向,降低了薄膜表面粗糙度,并改善了薄膜的力学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘实	中国科学院金属研究所	38	295	10.0	15.0
2	熊良银	中国科学院金属研究所	8	15	2.0	3.0
3	马红伟	中国科学院金属研究所	1	2	1.0	1.0