以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波谐振器性能仿真分析

• 作者: 刘罡 刘远鹏 朱嘉琦 王赛 袁欣薇 陆晓欣 霍施宇
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 固贴式薄膜体声波谐振器 四面体非晶碳 布拉格反射栅 品质因子
• 年，卷（期）: 2012,（14）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1872-1875
• 页数: 4页
• 分类号: TN713
• 字数: 3194字
• 语种: 中文

摘要

为了提高固贴式薄膜体声波谐振器（SMR）的电学和声学品质,实现四面体非晶碳（ta-C）在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp3杂化含量和高/低声阻抗层厚度偏差对SMR的品质因子（Q值）的影响。结果表明层数的增加提高了SMR的品质;ta-C薄膜sp3杂化含量越高,达到饱和Q值所需层数越少,当含量为80%时,至少需要6层（3对）布拉格反射层使SMR达到优异Q值;距离压电堆越近的高/低声阻抗层,其厚度偏差对Q值的影响越大,从而实现了高频率（8GHz）低损耗的SMR的设计。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱嘉琦	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	48	177	7.0	10.0
2	刘罡	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	9	121	4.0	9.0
3	王赛	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	6	26	2.0	5.0
4	陆晓欣	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	3	2	1.0	1.0
5	刘远鹏	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	3	6	2.0	2.0
6	袁欣薇	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	2	2	1.0	1.0