基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
利用激光汇聚中性铬原子沉积出一维纳米光栅样板的基础上,基于 NMM的AFM测量系统对样板进行了测试分析和测试方法研究,得到一维纳米光栅结构平均节距为212.6±0 4nm,与52Cr原子共振跃迁(7S3→7P04)的半波长(λ/2)理论值212.8nm基本一致,测试结果非常准确.文章还介绍利用NMM测量机的大范围扫描测试距离,解决了光栅样板的测试区域快速定位的问题,对研究纳米级精度测量有实用价值及参考意义.
推荐文章
基于AFM纳米机械刻蚀的分子动力学模拟研究
原子力显微镜
分子动力学
模拟
纳米机械刻蚀
基于AFM的机器人化纳米操作中纳观力的初步研究
纳观力分析
力-距离曲线
机器人化纳米操作
原子力显微镜
基于微型控制器的原子光刻系统自动化控制研究
原子光刻
温度控制
数据采集
USB接口
基于NMM和SRSM的断裂可靠度分析
数值流形方法
应力强度因子
随机响应面法
蒙特卡罗模拟
断裂可靠度
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 基于NMM的AFM测试分析原子光刻纳米光栅样板
来源期刊 计量技术 学科 工学
关键词 原子光刻技术 纳米光栅样板 基于NMM的AFM测量系统
年,卷(期) 2012,(2) 所属期刊栏目 测量与设备
研究方向 页码范围 6-9,13
页数 分类号 TB9
字数 2349字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-0771.2012.2.002
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 尚贤平 43 85 4.0 6.0
2 李同保 同济大学物理系 41 130 7.0 8.0
3 茅振华 20 63 4.0 7.0
4 汪黎栋 7 26 3.0 5.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (1)
共引文献  (24)
参考文献  (3)
节点文献
引证文献  (1)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
2003(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2005(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2009(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2012(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2014(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
原子光刻技术
纳米光栅样板
基于NMM的AFM测量系统
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
计量技术
月刊
1000-0771
11-1988/TB
大16开
北京市朝阳区北三环东路18号
2-796
1957
chi
出版文献量(篇)
6463
总下载数(次)
20
论文1v1指导