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基于NMM的AFM测试分析原子光刻纳米光栅样板
基于NMM的AFM测试分析原子光刻纳米光栅样板
作者:
尚贤平
李同保
汪黎栋
茅振华
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
原子光刻技术
纳米光栅样板
基于NMM的AFM测量系统
摘要:
利用激光汇聚中性铬原子沉积出一维纳米光栅样板的基础上,基于 NMM的AFM测量系统对样板进行了测试分析和测试方法研究,得到一维纳米光栅结构平均节距为212.6±0 4nm,与52Cr原子共振跃迁(7S3→7P04)的半波长(λ/2)理论值212.8nm基本一致,测试结果非常准确.文章还介绍利用NMM测量机的大范围扫描测试距离,解决了光栅样板的测试区域快速定位的问题,对研究纳米级精度测量有实用价值及参考意义.
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文献信息
篇名
基于NMM的AFM测试分析原子光刻纳米光栅样板
来源期刊
计量技术
学科
工学
关键词
原子光刻技术
纳米光栅样板
基于NMM的AFM测量系统
年,卷(期)
2012,(2)
所属期刊栏目
测量与设备
研究方向
页码范围
6-9,13
页数
分类号
TB9
字数
2349字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-0771.2012.2.002
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
尚贤平
43
85
4.0
6.0
2
李同保
同济大学物理系
41
130
7.0
8.0
3
茅振华
20
63
4.0
7.0
4
汪黎栋
7
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节点文献
原子光刻技术
纳米光栅样板
基于NMM的AFM测量系统
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
计量技术
主办单位:
中国计量科学研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-0771
CN:
11-1988/TB
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区北三环东路18号
邮发代号:
2-796
创刊时间:
1957
语种:
chi
出版文献量(篇)
6463
总下载数(次)
20
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