多晶硅“碳头料”清洗使用研究

• 作者: 吴彬辉 胡江峰 陈发勤 黄为民
• 来源期刊: 太阳能
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 硅碳分离 少子寿命 替位碳含量
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 技术与产品
• 页码范围: 26-30
• 分类号: TK51
• 字数: 2923字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0417.2012.03.007

摘要

通过自配的SORNID系列清洗液研究了其对多晶硅“碳头料”的清洗效果及清洗“碳头料”后对多晶铸锭的影响.采用红外探伤检测仪(IR探伤)、微波光电导衰减仪(μ-PCD)和傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)进行了综合表征.研究表明:SORNID-3清洗液对“碳头料”清洗效果明显；使用120kg清洗后“碳头料”完全满足多晶铸锭的工业要求,所铸晶锭具有厘米级大晶粒,呈柱状晶粒结构；平均少子寿命能达到3.57μs,晶棒少子寿命分布呈倒U型,收益率能达到69.16％;硅片替位碳含量低于10ppm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈发勤		1	4	1.0	1.0
2	吴彬辉		1	4	1.0	1.0
3	胡江峰		1	4	1.0	1.0
4	黄为民		1	4	1.0	1.0