基于Minitab的MEMS测量系统偏倚及线性研究

• 作者: 于金伟
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: Minitab MEMS 复合测量系统 测试数据 偏倚 线性分析
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 24-28
• 分类号: TN641
• 字数: 3270字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7167.2012.01.008

摘要

对测量误差的大小及能否接受的判断需要进行测量系统分析,从而可以减少因仪器设备引起的误差,并得到测试数据中所隐含的信息.介绍了进行测量系统偏倚及线性分析的概念及方法,在消音室用B&K测试仪对MEMS微传声器频响、灵敏度测得了参考值并使用在线测量系统对标准样品测得了相关数据,运用Minitab软件对测量系统在0.10、1.00、3.15和8.00 kHz等不同频点的偏倚及线性进行了分析,提出了复合测量系统的概念,并对此进行了有效的分析.根据研究结果,找到了运用整体偏倚值对测量系统进行修正的方法,并用Minitab对改善后的测量系统进行了预测,应用于生产实际后,大大提高了MEMS微传声器测量系统测试数据的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于金伟		59	146	6.0	7.0