浅析镀膜机结构原理及检漏技巧

• 作者: 刘培先 肖成珍
• 来源期刊: 太阳能
• 学科: 工学
• 关键词: 镀膜机 真空检漏
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 技术与产品
• 页码范围: 34-36,57
• 分类号: TB43
• 字数: 1989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0417.2012.11.009

摘要

真空镀膜机是全玻璃真空集热管生产中的重要设备之一,而直流磁控溅射镀膜机在目前太阳能行业中使用最为普遍,但因其真空系统阀门多、密封点多,在实际生产过程中能否快速检漏、确定漏点的精确位置,是直接影响膜层结构性能是否优良和生产效率的关键因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘培先		6	5	2.0	2.0
2	肖成珍		3	3	1.0	1.0