奥氏体不锈钢上功能梯度SiC薄膜的制备和性能

• 作者: 储汉奇 李合琴 聂竹华 都智
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 功能梯度薄膜 SiC薄膜 奥氏体不锈钢 制备 Ti/TiN 显微硬度计 不锈钢基片 结晶质量
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 150-154
• 分类号: TG142.71|TG174.44
• 语种: 中文

摘要

用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上制备了SiC单层膜和Ti／TiN双层膜以及Ti／TiN／SiC功能梯度薄膜。采用XRD和显微硬度计对薄膜的结晶质量和硬度进行表征；用AFM和SEM对薄膜的表面和截面形貌进行了表征。结果表明：Ti／TiN双层膜在氩氮流量比为15：15时，薄膜的结晶质量最好，硬度最高，达到15．6GPa，最适合作为钢基SiC薄膜的缓冲层。另外，功能梯度SiC薄膜比SiC单层膜的结晶质量好；不同退火温度下功能梯度SiC薄膜的硬度高于SiC单层膜，同时功能梯度SiC薄膜的表面结晶质量也优于SiC单层膜。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李合琴	合肥工业大学材料科学与工程学院	71	273	8.0	12.0
2	聂竹华	合肥工业大学材料科学与工程学院	6	17	2.0	4.0
3	储汉奇	合肥工业大学材料科学与工程学院	6	17	2.0	4.0
4	都智	合肥工业大学材料科学与工程学院	6	17	2.0	4.0