蓝宝石单晶生长坩埚热应力分析

• 作者: 刘云霞 杨军良 白亮亮 赵宜琳
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 坩埚 有限元 温度场 热应力
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 页码范围: 1458-1462
• 页数: 5页
• 分类号: TH123
• 字数: 2980字
• 语种: 中文

摘要

针对蓝宝石单晶生长过程中因热应力集中坩埚使用寿命短问题,基于ANSYS有限元分析,对晶体熔化过程中的坩埚进行瞬态传热分析,在此基础上进行不同情况下热-结构耦合分析,计算得出晶体完全熔化后坩埚的热应力分布情况.分析显示:最大热应力存在于坩埚与托盘结合处；在满足晶体生长条件下,减缓升温速度,减小温度梯度,增大托杆中间空隙,改变托盘托杆材料等方法可以减小热应力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白亮亮		1	7	1.0	1.0
2	刘云霞		15	116	7.0	10.0
3	杨军良		15	75	6.0	7.0
4	赵宜琳		1	7	1.0	1.0