基于ZnO传感器的高流速气体压力测试

• 作者: 张源 徐甲强 曾垂义 陈学东
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 气压测试 氧化锌 纳米颗粒
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 1194-1198
• 分类号: TH138.5|TP212|TH823
• 字数: 3774字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.09.004

摘要

针对机械系统中气体轴承间气膜压力的分布检测,提出并研发了一种基于ZnO传感器的检测方法.ZnO纳米颗粒敏感材料采用化学沉淀法制备；用X射线衍射和扫描电镜对其进行了表征.利用ZnO传感器的响应电压与动态气体压力的关系,成功测试出高压动态气体的压力.分析了氧气吸附、压电效应和热传导对响应电压的影响,拟合出对应的气体压力-响应电压关系曲线,本研究为高流速气体压力的测试提供了一种新途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈学东	华中科技大学数字制造与装备技术国家重点实验室	56	741	16.0	24.0
2	徐甲强	上海大学理学院化学系	62	559	12.0	20.0
3	曾垂义	上海大学理学院化学系	1	2	1.0	1.0
4	张源	上海大学理学院化学系	3	11	2.0	3.0