基于SPR的多层金属膜厚在线纳米测量

• 作者: 刘芳芳 庄松林 张大伟 李孟超 李艳敏 金丹
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面等离子体振荡 柱面光 多层金属薄膜 在线测量
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 7-12
• 分类号: TN06|O439
• 字数: 3779字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2012.05.002

摘要

通过对于首层金属膜的SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度,同时用柱面光与CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统.根据CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线,并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值.利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜进行了在线测控研究,得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大伟	上海理工大学光电信息工程与计算机学院	117	391	11.0	15.0
2	庄松林	上海理工大学光电信息工程与计算机学院	199	1335	20.0	29.0
3	李孟超	上海理工大学光电信息工程与计算机学院	44	320	10.0	16.0
4	李艳敏	上海理工大学光电信息工程与计算机学院	4	26	2.0	4.0
5	刘芳芳		15	31	3.0	5.0
6	金丹	上海理工大学光电信息工程与计算机学院	3	22	2.0	3.0