质量控制技术在IC制程控制中的运用

• 作者: 刘永琴 江泓 陆鸣凯
• 来源期刊: 上海质量
• 学科: 经济
• 关键词: 质量控制技术 IC芯片 制程控制 上海市质量协会 质量控制系统 产品质量 产业发展 质量保证
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 质量方法
• 页码范围: 62-63
• 页数: 2页
• 分类号: F326.35
• 字数: 2248字
• 语种: 中文

摘要

IC芯片应用广泛，产业发展迅速，而且随着芯片的集成度和性能的不断提高，以及大量新材料、新工艺和新的器件结构的运用，产品的可靠性与质量保证一直面临着巨大的挑战。本案例运用质量控制技术建立关键过程的质量控制系统，有效保证了产品质量，并获得了2011年上海市质量协会质量技术奖三等奖。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆鸣凯		2	1	1.0	1.0
2	江泓		1	0	0.0	0.0
3	刘永琴		1	0	0.0	0.0