提高MEMS检波器技术指标的研究

• 作者: 唐晓刚 杨仲华 牛德芳 王义江 王书军 陈海波
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 检波器 动态 静态 稳定性 指标
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 12-14
• 分类号: TP212
• 字数: 3950字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2012.02.005

摘要

通过对石油勘探领域应用的电容式MEMS加速度检波器的研究,重点提出提高MEMS检波器的动态、静态、稳定性指标的方法及理论根据,并通过试验进一步证明方法的正确性及可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海波		8	4	1.0	1.0