E+H自动化仪表在多晶硅行业中的应用

• 作者: 刘建中 吴伟 张哲民 张玉泉
• 来源期刊: 自动化博览
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 E+H 自动化仪表
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 解决方案
• 页码范围: 110-114
• 分类号: TQ127.2|TH86
• 字数: 5108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0492.2012.09.028

摘要

仪表是工业生产的眼睛,关系到工艺流程的稳定性、物料配比的精确性和经济性以及生产过程中人员、设备的安全性.本文分析了发展多晶硅产业的意义、多晶硅生产的现状,重点介绍E+H自动化仪表在多晶硅行业的应用情况及问题处理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴伟		3	4	1.0	2.0
2	刘建中		7	6	2.0	2.0
3	张玉泉		1	4	1.0	1.0
4	张哲民		1	4	1.0	1.0