微悬臂梁横向弹性系数标定技术

• 作者: 包汉瑜 吴森 吴瑶瑶
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂梁 横向弹性系数 标定 天平
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 60-63
• 分类号: TH742
• 字数: 2596字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2012.08.018

摘要

微悬臂梁是新型力学传感器的关键部件,其性能决定力学测试结果的准确度.为了定量研究微悬臂梁与样品表面间的相互作用力,须对微悬臂梁的力学性能进行表征.提出了一种新的微悬臂梁横向弹性系数标定方案:采用精密天平和光杠杆分别测得微悬臂梁的横向扭转力和扭转量,进而可得到微悬臂梁的横向弹性系数.对3种型号的微悬臂梁进行了横向弹性系数的实际标定,结果表明:均方差均小于5％,重复性良好,且与有限元仿真值一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴森	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	13	62	4.0	7.0
2	吴瑶瑶	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	3	1.0	1.0
3	包汉瑜	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	3	1.0	1.0