氮流量对ZnO∶N薄膜微结构及光学性能影响

• 作者: 万文琼 冯晓炜 况慧芸 朱华
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO∶N薄膜 透射率 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 页码范围: 1280-1285
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3446字
• 语种: 中文

摘要

运用射频磁控溅射技术,改变氩、氮流量比(9/1 ～ 9/4)在玻璃衬底上获得ZnO∶N样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪及SEM对薄膜微结构和光学性能表征.结果发现∶N流量小,样品XRD峰强小,峰位不明显,紫外可见光光谱在320 ～780 nm波长区间透射率变化小；随着N流量的增加,样品XRD有(002)强单峰出现,在400 nm波长以下透射率急剧下降；当氩氮流量达到9/4,样品XRD出现双峰,紫外光透射率无明显变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	况慧芸	景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系	12	61	4.0	7.0
2	朱华	景德镇陶瓷学院机电学院	30	108	6.0	8.0
6	冯晓炜	景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系	7	17	2.0	4.0
7	万文琼	景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系	8	8	2.0	2.0