基于USB2.0的193nm极紫外光强检测系统设计

• 作者: 刘东 曹益平
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻照明系统 USB2.0 固件 ADS8322 OP07
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 60-62
• 分类号: TG80|TB96|TN23
• 字数: 1172字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2012.03.018

摘要

介绍一种以USB2.0为接口的实时极紫外光强检测系统.光敏二极管输出电压经模拟放大器OP07放大后,再经模数转换器ADS8322转换得到与光强成线性的数字量,用VC++6.0编程对CY7C68013A芯片I/O端口控制实现对转换后的数字量的实时采集,从而实现对193nm光刻照明系统光强的实时检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹益平		136	874	15.0	24.0
2	刘东		13	73	4.0	8.0