基于现场总线的硅片自动装卸控制系统设计

• 作者: 何华云 吕文利 王慧勇 郭忠君 魏唯
• 来源期刊: 自动化与仪器仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 现场总线 PROFI BUS-DP AS-i 自动装卸
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 控制系统设计
• 页码范围: 49-50
• 分类号: TP13
• 字数: 1881字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9227.2012.01.019

摘要

开发了一种基于现场总线的硅片自动装卸控制系统.系统采用PROFIBUS-DP总线和ASI总线相结合的控制方式,实现了PECVD石墨舟硅片的装卸过程自动化,提高了太阳能电池片生产线的生产效率和自动化水平,降低了劳动强度,提高了产品质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏唯	中国电子科技集团公司第四十八研究所	14	17	2.0	3.0
2	何华云	中国电子科技集团公司第四十八研究所	11	38	3.0	6.0
3	王慧勇	中国电子科技集团公司第四十八研究所	7	10	2.0	3.0
4	吕文利	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	13	2.0	3.0
5	郭忠君	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	1	1.0	1.0