基于蜜蜂平衡棒的仿生MEMS导航传感器的设计与仿真

• 作者: 刘俊 刘尧 唐军 曹卫达
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 仿生MEMS 三维角速度传感器 有限元分析 蜜蜂平衡棒
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1395-1399
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.010.014

摘要

针对目前角速度传感器检测维数单一、体积大的缺点,以蜜蜂平衡棒为仿生模型,详细分析了平衡棒的导航原理,结合MEMS技术,设计了一种新型的三维角速度微传感器.利用ANSYS对传感器结构进行仿真、优化,得到了合适的结构尺寸,在±20 V的驱动电压下,传感器结构中的微柱体摆动幅度可达到7.04°,通过进一步理论计算得到翻滚、俯仰角速度产生的哥氏力为2.467×10-5 N/(°·S-1),偏航角速度产生的哥氏力为7.58×10-7 N/(°·S-1).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
5	唐军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	64	114	5.0	9.0
9	刘尧	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	2	1.0	1.0
13	曹卫达	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0