热蒸发紫外LaF3薄膜光学性能和结构表征

• 作者: 常艳贺 李春 金春水 靳京城
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 沉积温度 热蒸发 LaF3 光学损耗
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 130-134
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.1007002

摘要

在不同的沉积温度下,用热蒸发方法在熔融石英(JGSl)上制备了LaF3单层薄膜.分别采用分光光度计测量了薄膜样品的透射率和反射率光谱,反演得出薄膜的折射率和消光系数；采用原子力显微镜(AFM)观察了样品的表面形貌,并通过表面粗糙度计算得出总积分散射损耗；采用X射线衍射仪(XRD)测试了薄膜的晶体结构,由衍射谱图拟合得到衍射峰的半峰全宽,进而计算出薄膜晶粒的平均尺寸.实验结果表明,随着沉积温度的升高,LaF3薄膜的结晶状况明显变好,晶粒尺寸逐渐变大,膜层变得更加致密,薄膜的光学常数和折射率不均匀性均呈线性变化.沉积温度的增加对薄膜表面粗糙度的影响不明显,散射损耗在光学损耗中所占比例较小,所以光学损耗的变化主要由吸收损耗引起.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李春	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	30	317	10.0	17.0
2	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	56	202	9.0	11.0
3	靳京城	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	2	1.0	1.0
4	常艳贺	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	17	2.0	4.0