MEMS高量程加速度传感器的动态特性分析

• 作者: 刘俊 周智君 尚晓亮 潘龙丽 石云波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS(微电子机械系统) 高量程加速度计 动态特性 霍普金森杆 镜像映射法
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1392-1394
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2562字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.010.013

摘要

利用霍普金森杆激光干涉冲击试验台对实验室研发的MEMS高量程压阻式加速度传感器进行动态校准;采用两种不同解算方法对实验数据将进行分析处理,求解出该传感器的幅频特性,绘制了对数幅频特性曲线;通过对比两种算法的结果知道,镜像映射法优于FFT算法,其算法简单有效,能直接辨识出系统模型参数和模型阶次.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
5	石云波	中北大学电子测试国家重点实验室	108	610	14.0	20.0
9	潘龙丽	中北大学电子测试国家重点实验室	3	17	3.0	3.0
10	周智君	中北大学电子测试国家重点实验室	3	22	2.0	3.0
11	尚晓亮		1	11	1.0	1.0