基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制

• 作者: 周平伟 常洪龙 杨勇 谢中建
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 传感器 间断性腐蚀法 电阻温度系数 热时间常数
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1365-1369
• 页数: 5页
• 分类号: TN37
• 字数: 3311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.010.008

摘要

针对铂湿法刻蚀工艺,提出了间断性腐蚀法,并与边腐蚀边搅拌法和静止法进行了对比,结果显示该方法腐蚀铂曲线光滑、效果好.之后,以普通硅片作为衬底材料,二氧化硅作为隔热层,采用上述微机电(MEMS)工艺加工制作了铂热敏传感器.经热敏性能测试,其电阻温度系数在20℃～80℃时为1571.2×10-6/℃;同一批次电阻阻值均匀性为0.35％;非线性度为0.57％;热时间常数为1.1 μs;在0.5h的稳定性测试中其变化幅值为0.005Ω,即精度为0.01％.该热敏传感器制作工艺简单,性能优异,可用于温度敏感、气体传感等热敏传感.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨勇	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	12	31	3.0	5.0
2	常洪龙	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	25	112	6.0	10.0
3	周平伟	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	2	2	1.0	1.0
4	谢中建	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	2	2	1.0	1.0