硅微机械谐振式压力传感器闭环方法

• 作者: 孙晋豪 樊尚春 邢维巍
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压力测量 谐振式 微弱信号 闭环控制 MEMS
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 技术论坛
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.6
• 字数: 2601字
• 语种: 中文

摘要

提高硅微机械谐振式压力传感器的性能指标有很多方法,如何对已知敏感结构的输出量程范围内所有谐振频率点进行实时闭环跟踪是其中之一.对几种比较常用硅微机械谐振式压力传感器的激励-拾振方式进行介绍,对所调研的国内外文献给出的谐振式微结构传感器闭环控制方法进行比较分析,提出一种新的针对电热激励-压阻拾振方式的复合敏感结构进行闭环控制的方法,同时给出了提高该类型传感器性能的有效手段和研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	161	841	15.0	21.0
3	邢维巍	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	48	176	7.0	11.0
5	孙晋豪	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	2	6	2.0	2.0