小孔内径测量的传感器精度分析

• 作者: 于永新 孙选 郑义忠 马玉真
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 小孔孔径 测量 传感器探针 精度
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1344-1348
• 页数: 5页
• 分类号: TH-711
• 字数: 1858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.010.004

摘要

针对小孔的结构特点,介绍了电容传感器探针测量小孔孔径的原理;分析了测量时电容传感器由于参数的线性化、电容探针与小孔的中心线偏心带来的测量误差;并针对以上因素影响,采取了自动对中机构实现测量过程中的最小化偏心,通过标定得到了孔径值与测量值之间的对应关系.实验结果表明,系统的重复性精度可达到0.186μm,稳定性能达到6h内漂移不超过0.375 μm,该指标完全可以满足实际测量要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑义忠	天津大学精密仪器与光电子工程学院	60	769	17.0	25.0
2	孙选	济南大学机械工程学院	40	203	8.0	12.0
3	马玉真	济南大学机械工程学院	48	383	8.0	19.0
4	于永新	天津大学计算机学院	10	60	4.0	7.0