ESD对RuO_2厚膜电阻阻值的影响

• 作者: 卢振强 张俊 李军
• 来源期刊: 电子质量
• 关键词: 静电放电 RuO2 厚膜电阻 阻值变化率
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 认证与实验室
• 页码范围: 65-67
• 页数: 3页
• 分类号: TM544.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2012.07.040

摘要

采用静电放电（Electrostatic discharge,ESD）发生器对RuO2厚膜电阻直接放电,研究了电阻阻值变化率与电阻尺寸、阻值和ESD条件的关系。结果表明：厚膜电阻阻值受ESD作用而下降;相同ESD及阻值条件下的阻值变化率随电阻尺寸的增大而减小;相同电阻的阻值变化率随ESD电压的增大而增大;10kΩ左右的厚膜电阻在ESD作用下的阻值变化率最大,阻值变化率随着阻值的减小和增大而呈减小趋势;对10kΩ厚膜电阻反复施加不断增大的ESD电压,除宽度尺寸为0.45mm的电阻阻值在8～10kV之间出现一次回升外,电阻阻值逐步下降。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张俊		3	1	1.0	1.0
2	卢振强		2	1	1.0	1.0
3	李军		1	0	0.0	0.0