可见与近红外激光通信系统光学滤光膜的研制

• 作者: 付秀华 寇雷雷 张燃 张静 许阳月
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 激光滤光膜 离子辅助沉积 激光损伤阈值 空间光通信
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 136-139
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.1207001

摘要

在空间光通信中,光学系统起着非常重要的作用,光学薄膜技术已成为制作光学元件的关键技术.对532、808、1064、1550 nm激光工作的4个波段,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,借助于膜系设计软件,采用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法设计并制备了激光滤光膜.镀膜后的基片在808 nm处的透射率大于90％,532、1064、1550 nm处的反射率均大于99％.重点解决了808 nm透射区半波孔的问题,通过对基片进行清洁、减少薄膜的吸收和进行真空退火等方法提高了膜层的激光损伤阈值.经过性能测试和评估,满足系统的要求.