超声处理对UV-LIGA工艺中SU-8胶溶胀的影响

• 作者: 刘亚萍 李成斌 李永辉 杜立群
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超声处理 SU-8光刻胶 溶胀 电铸 UV-LIGA
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2006-2013
• 分类号: TN305.7|TB559
• 字数: 3641字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122009.2006

摘要

首次将超声处理引入UV-LIGA工艺中,研究了超声处理对SU-8胶模溶胀的影响,并探讨了其影响机理,从而获得了减小胶模溶胀及提高电铸微器件尺寸精度的方法.试验研究了超声处理对显影过程及电铸过程中SU-8胶模溶胀的影响,分析了不同超声时间下SU-8胶表面亲水性的变化趋势,并计算了不同超声时间下胶模的溶胀去除率.讨论了超声处理对不同结构微器件尺寸精度的影响.试验结果表明:SU-8胶模在显影过程中的溶胀不明显,并且超声处理对显影过程中胶模的溶胀影响很小,其主要影响SU-8胶模在电铸过程中的溶胀.随着超声时间的增加,胶模溶胀及其表面亲水性均呈现先减小后增大的趋势.当超声时间为10 min时,胶模溶胀最小,其溶胀去除率a值可高达70％,并且超声处理后电铸微器件的尺寸误差与结构尺寸无关.根据超声波的机械断键作用与聚合物吸水机理,从亲水性和内应力两个方面,探究了SU-8胶模溶胀随超声时间的增加而变化的原因.文中提出的减小SU-8胶溶胀的方法不依赖于工艺参数也不会增加掩模图形设计的复杂性,是一种实用的减小SU-8胶溶胀的新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	61	480	13.0	19.0
5	刘亚萍	大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室	1	14	1.0	1.0
6	李永辉	大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室	3	23	2.0	3.0
7	李成斌	大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室	2	23	2.0	2.0