部分国家/地区支持推动MEMS发展的举措

• 作者: 万勇 潘懿 黄健
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 政策 措施
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 专题论述
• 页码范围: 135-139
• 分类号: TN30|G353
• 字数: 6373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2012.05.033

摘要

微机电系统(MEMS)是基于微机械或微电子技术的微型机电器件或系统,主要包括微传感器、微执行器和微系统等.MEMS由于尺度小,集成度高,功能灵活强大,使人类的操作、加工能力延伸到μm级空间,同时作为新兴的高技术产业,已成为世界各国政府亮相争夺的技术制高点之一.介绍了世界上部分国家和地区在推动MEMS发展方面的各种政策措施,并对我国MEMS的发展具有启示作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄健	中国科学院武汉文献情报中心	51	344	10.0	17.0
2	万勇	中国科学院武汉文献情报中心	38	210	8.0	13.0
3	潘懿	中国科学院武汉文献情报中心	8	23	3.0	4.0