栅控横向PNP双极晶体管辐照感生电荷的定量分离

• 作者: 任迪远 吴雪 周东 孙静 席善斌 文林 陆妩
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 栅扫描法 栅控 横向PNP双极晶体管 电荷分离
• 年，卷（期）: 2012,（23）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、力学和热学性质
• 页码范围: 374-380
• 分类号: O614.81
• 语种: 中文

摘要

设计并制作了一种栅控横向PNP双极晶体管测试结构，在常规横向PNP双极晶体管基区表面氧化层上制作了一栅电极，利用栅扫描法，通过扫描栅极所加电压，获得了基极电流随栅极电压的变化特性．理论推导和数学计算获得了氧化物陷阱电荷和界面陷阱电荷的定量变化，分离出栅控横向PNP双极晶体管在辐照及其室温退火过程中感生的缺陷．对设计的晶体管测试结构和采用的测试方法做了具体介绍．