西门子工艺制备多晶硅体系的热力学分析

• 作者: 冉祎 印永祥 尚书勇 彭耀东 李育亮 覃攀
• 来源期刊: 河南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 西门子工艺 热力学分析 反应机理
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 开发与研究
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2546字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-3467.2012.07.023

摘要

利用吉布斯自由能理论对西门子体系进行了热力学分析，梳理了体系中可能发生的系列化学反应。结果表明，多晶硅生产主反应为裂解反应而非还原，SiHCl3裂解生成SiCl2（g）和HCl（g），进而生成si和SiCl2（g）。这不仅合理地解释了实际生产中副产大量四氯化硅等问题，而且为优化还原工艺提供了有价值的科学依据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭耀东	四川大学化工学院	2	6	2.0	2.0
2	印永祥	四川大学化工学院	56	602	14.0	21.0
3	尚书勇	宜宾学院化学与化工系	20	106	6.0	8.0
4	李育亮	四川大学化工学院	4	114	4.0	4.0
5	冉祎	四川大学化工学院	6	60	4.0	6.0
6	覃攀	四川大学化工学院	7	73	5.0	7.0