任意相移阴影叠栅相位解调技术的研究

• 作者: 曹士旭 李兵 杜虎兵 赵宏 赵金磊
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 阴影叠栅 相移算法 任意相移 三维轮廓
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 116-120
• 页数: 5页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201232.0912003

摘要

结合时域和频域干涉图分析方法,提出一种任意相移阴影叠栅条纹图相位解调技术,降低了干涉图在采样过程中对相移量的严格标定要求,补偿了相移阴影叠栅技术固有的相移不匀误差.使用空域技术确定采样干涉图的正交信号,进而得到了采样干涉图的相移量,然后运用任意相移相位提取算法搜索测量相位信息.实验证明此方法简单方便、求解迅速,且优于典型的相移算法,其测量误差的标准差不超过3×10 3mm,该方法为提高相移阴影叠栅技术的测量精度提供了有效手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宏		71	687	16.0	23.0
2	李兵		84	1641	20.0	38.0
3	赵金磊		3	0	0.0	0.0
4	杜虎兵		3	5	1.0	2.0
5	曹士旭		2	0	0.0	0.0