熔石英后表面坑点型划痕对光场调制的近场模拟

• 作者: 刘春明 向霞 李莉 王治国 祖小涛 章春来 袁晓东 贺少勃
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 熔石英 坑点型划痕 激光辐照 时域有限差分
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 306-313
• 分类号: O433.54
• 字数: 3481字
• 语种: 中文

摘要

建立了坑点型划痕的旋转抛物面模型,用三维时域有限差分方法研究了熔石英后表面坑点型划痕随深度、宽度、间距以及酸蚀量变化对波长λ=355 nm入射激光的调制.研究表明,这类划痕调制最强区位于相邻两坑点的连接区,且越靠近表面调制越强.当其宽深比为2.0—3.5、坑点间距约为坑点宽度的1/2时,可获得最大光场调制,最大光强增强因子（LIEF）为11.53;当坑点间距大于坑点宽度时,其调制大为减弱,相当于单坑的场调制.对宽为60δ（δ=λ/12）,深和间距均为30δ的坑点型划痕进行刻蚀模拟,刻蚀过程中最大LIEF为11.0,当间距小于300 nm时,相邻坑点由于衍射形成场贯通.