运动控制算法可重构机制

• 作者: 周云飞 王耀 程鑫 胡永兵
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 运动控制 算法可重构 VME DSP
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 控制技术
• 页码范围: 1248-1250,1254
• 分类号: TP23
• 语种: 中文

摘要

针对步进扫描光刻机运动控制系统调试和运行,提出了一种运动控制算法可重构的机制,实现运动控制算法和关键参数的在线修改；对比分析了不可重构与可重构运动控制软件的设计流程,指出了可重构的优势；为运动控制代码传输设计了VME总线通道并用FPGA实现总线接口,确保运动控制指令的高速稳定传输;设计了运动控制器运算核心DSP的外部接口和运行方式,确保运动控制算法的可控运行;实验结果表明DSP代码可从上位机下载运行,控制系统能灵活的重构运动控制算法,长时间运行稳定,大大提高了光刻机工件台控制系统调试的工作效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周云飞	华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室	140	2386	28.0	40.0
2	程鑫	华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室	7	71	5.0	7.0
4	胡永兵	华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室	5	51	4.0	5.0
5	王耀	华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室	8	50	5.0	7.0