立式靶丸AFM表面轮廓仪系统精度测试

• 作者: 唐永建 孙涛 孟婕 张林 赵学森 马小军 高党忠
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: ICF靶丸 AFM 表面轮廓仪 立式轴系结构 测量精度
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 1014-1018
• 分类号: TH744.3
• 语种: 中文

摘要

研制了立式轴系结构靶丸AFM表面轮廓仪,对测量装置的精度进行了系统的测试.针对影响测量结果的不确定性因素,分别从气浮轴系回转误差、系统静态噪声误差以及综合测量误差几个角度开展实验研究.采用标准球及两步回转误差分离法获取了气浮轴系系统误差数据,在实际测量时作为系统误差进行消除.综合测量实验证明,该系统的测量噪声峰谷极差约22 nm,RMS为5.2 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	张林	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	233	1406	18.0	25.0
3	马小军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	36	107	5.0	8.0
4	高党忠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	44	290	11.0	15.0
5	赵学森	哈尔滨工业大学精密工程研究所	11	49	4.0	6.0
7	孟婕	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	19	2.0	4.0