高重复频率飞秒激光烧蚀熔融石英制作单偏振微结构波导

• 作者: 何书通 李毅 柴路 汪月容 王思佳 王清月 胡明列
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 飞秒激光微纳加工 波导 光子晶体
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 55-60
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.1203002

摘要

利用中心波长为1040 nm、脉宽为190 fs、重复频率在200～5000 kHz之间可调的飞秒激光对熔融石英进行微加工.研究了烧蚀阈值随脉冲重复频率、扫描速度的变化规律,阐明不同参数下热扩散效应及热累积效应对烧蚀过程的主导作用.在最优化条件下,制作了双线波导,可以对1040 nm激光实现圆形基模传输.进一步制作了椭圆晶胞的六角微结构波导,对1040 nm激光可以输出近高斯强度分布的基模,模场面积达到247.48 μm2.该微结构波导可实现单偏振传输,消光比达9.05,波导数值孔径约0.017.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王清月		109	537	13.0	20.0
2	柴路		76	375	12.0	17.0
3	胡明列		69	301	9.0	17.0
4	李毅		8	89	2.0	8.0
5	汪月容		2	0	0.0	0.0
6	何书通		3	0	0.0	0.0
7	王思佳		4	0	0.0	0.0