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熔石英表面损伤修复点上烧蚀碎片的分类与去除
熔石英表面损伤修复点上烧蚀碎片的分类与去除
作者:
刘春明
向霞
吕海兵
廖威
晏中华
杨亮
王海军
祖小涛
蒋勇
袁晓东
郑万国
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
激光光学
熔石英
CO2激光
修复点
烧蚀
摘要:
熔石英光学元件表面损伤修复点周围的烧蚀碎片是诱导元件损伤的一个主要因素.根据烧蚀程度将修复点周围的烧蚀物质分为两类,然后针对不同类型的烧蚀采取大光斑CO2激光钝化和氢氟酸缓冲溶液刻蚀清洗两种方法对其进行去除处理,并且得到具体的优化处理参数.实验结果表明,两种方法都可以有效地去除修复点周围的烧蚀碎片,达到有效提升修复点抗激光损伤能力的目的.
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文献信息
篇名
熔石英表面损伤修复点上烧蚀碎片的分类与去除
来源期刊
中国激光
学科
物理学
关键词
激光光学
熔石英
CO2激光
修复点
烧蚀
年,卷(期)
2012,(12)
所属期刊栏目
激光加工与应用
研究方向
页码范围
61-66
页数
6页
分类号
O434.14
字数
语种
中文
DOI
10.3788/CJL201239.1203003
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研究主题发展历程
节点文献
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CO2激光
修复点
烧蚀
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
主办单位:
中国光学学会
中科院上海光机所
出版周期:
月刊
ISSN:
0258-7025
CN:
31-1339/TN
开本:
大16开
出版地:
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
邮发代号:
4-201
创刊时间:
1974
语种:
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
总被引数(次)
105193
相关基金
NSAF联合基金
英文译名:
官方网址:
项目类型:
学科类型:
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
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学科类型:
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