大型天文望远镜主镜镀膜技术

• 作者: 刘洪祥 杜维川 王长军 裴文俊
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 均匀性 反射率 环境稳定性 主镜 镀膜
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 365-369
• 分类号: O484
• 字数: 2306字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122402.0365

摘要

采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式,开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究.结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置,对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正,分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性.结果表明:理论分析与实验数据一致,直径2.4m范围内膜厚不均匀性约5.5％.通过优化工艺,成功制备出1.8m平面镜薄膜元件,在350～1 800 nm波段范围内,膜层平均反射率88.6％,通过了环境稳定性测验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘洪祥	中国科学院光电技术研究所	10	111	5.0	10.0
2	王长军	中国科学院光电技术研究所	4	27	3.0	4.0
3	杜维川	中国科学院光电技术研究所	1	4	1.0	1.0
7	裴文俊	中国科学院光电技术研究所	2	5	1.0	2.0