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摘要:
透明导电氧化物薄膜(TCO薄膜)有着广泛的用途,如作为LCD、OLED显示器面板的电极,作为触摸屏的感应电极,作为薄膜太阳能电池的电极以及作为LED芯片前电极等。目前主要的TCO薄膜有氧化铟锡(ITO)、氧化锡(SnO2)、氧化锌铝(AZO)三种,其中SnO2薄膜是最早应用的TCO薄膜,但由于其光电特性相对较差,目前主要应用在一些较低端的使用领域。
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密度
靶材密度对射频磁控溅射法制备ITO薄膜性能的影响
氧化锡铟(ITO)
靶材密度
薄膜
射频磁控溅射
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 磁控溅射法沉积TCO薄膜的电源技术
来源期刊 UPS应用 学科 工学
关键词 透明导电氧化物薄膜 TCO 磁控溅射法 电源技术 OLED显示器 薄膜太阳能电池 感应电极 沉积
年,卷(期) 2012,(10) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 51-60
页数 10页 分类号 TN86
字数 语种
DOI
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈宇 7 6 2.0 2.0
2 李民英 13 2 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
透明导电氧化物薄膜
TCO
磁控溅射法
电源技术
OLED显示器
薄膜太阳能电池
感应电极
沉积
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
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月刊
1726-5924
北京市西城区北三环中路甲29号华尊大厦A
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