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磁控溅射法沉积TCO薄膜的电源技术
磁控溅射法沉积TCO薄膜的电源技术
作者:
李民英
陈宇
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
透明导电氧化物薄膜
TCO
磁控溅射法
电源技术
OLED显示器
薄膜太阳能电池
感应电极
沉积
摘要:
透明导电氧化物薄膜(TCO薄膜)有着广泛的用途,如作为LCD、OLED显示器面板的电极,作为触摸屏的感应电极,作为薄膜太阳能电池的电极以及作为LED芯片前电极等。目前主要的TCO薄膜有氧化铟锡(ITO)、氧化锡(SnO2)、氧化锌铝(AZO)三种,其中SnO2薄膜是最早应用的TCO薄膜,但由于其光电特性相对较差,目前主要应用在一些较低端的使用领域。
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篇名
磁控溅射法沉积TCO薄膜的电源技术
来源期刊
UPS应用
学科
工学
关键词
透明导电氧化物薄膜
TCO
磁控溅射法
电源技术
OLED显示器
薄膜太阳能电池
感应电极
沉积
年,卷(期)
2012,(10)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
51-60
页数
10页
分类号
TN86
字数
语种
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
陈宇
7
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李民英
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传播情况
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2012(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
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研究主题发展历程
节点文献
透明导电氧化物薄膜
TCO
磁控溅射法
电源技术
OLED显示器
薄膜太阳能电池
感应电极
沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
数据中心建设+
主办单位:
北京电子学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1726-5924
CN:
开本:
出版地:
北京市西城区北三环中路甲29号华尊大厦A
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
8497
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