干涉测量框架结构设计及稳定性分析

• 作者: 周烽 王丽萍 王辉
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 稳定性分析 干涉测量框架 有限元分析 随机振动分析
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 127-130
• 页数: 4页
• 分类号: TH122
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.1108007

摘要

干涉测量的面形重复精度一定程度上依赖于测量框架结构的稳定性,从测量框架高稳定性的使用要求出发,对测量框架的机械结构进行了设计.在此基础上针对检测框架在随机振动下的稳定性问题,建立了检测框架的有限元模型,以实际测量的随机振动速度功率谱密度(PSD)为激励,运用ANSYS有限元分析软件中的随机振动分析模块,对该结构的随机振动响应进行了分析计算.通过分析计算得出测量框架在随机振动下的稳定性为0.5144 nm,实验测量出5 s内的稳定性为0.653 nm,二者基本吻合.分析表明,测量框架的结构设计以及振动环境满足稳定性的指标要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	215	3061	28.0	49.0
2	王丽萍	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	31	296	8.0	17.0
3	周烽	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	23	137	7.0	10.0