薄膜微量热计的信号采集与处理模块设计

• 作者: 余隽 吴昊 唐祯安 孙长宇
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜微量热计 信号采集模块 脉冲扫描量热 热容
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 88-90,94
• 分类号: TP273
• 字数: 3250字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2012.07.027

摘要

薄膜微量热计是测量亚微米厚度薄膜热动力学特性的重要手段,针对薄膜微量热计的脉冲扫描量热测试方法改进了系统的信号采集与分析模块.微量热计原始信号经高精度仪用放大电路后,由高速数据采集卡采集送入PC机；采用LabVIEW软件编写的控制程序并采用Matlab软件实现数据的分析处理.对加载了70 nm厚度In薄膜的微量热计进行热容测试,观测到了In薄膜的熔化峰和熔点,表明系统具有足够高的信噪比和检测灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学电子科学与技术学院	142	1281	17.0	29.0
2	余隽	大连理工大学电子科学与技术学院	37	252	7.0	14.0
3	吴昊	大连理工大学电子科学与技术学院	20	62	5.0	6.0
4	孙长宇	大连理工大学电子科学与技术学院	2	10	1.0	2.0