测量薄膜厚度的数字叠栅技术

• 作者: 刘奕辰 苏俊宏
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 厚度 干涉图 移相干涉法 叠栅技术
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 99-103
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.1108002

摘要

现代干涉测试的核心是用合理的算法处理干涉图而获得所需的面形及参数.由于常见的相移法要通过移相器有规律地移动采集多幅干涉图并数字化后求取波面的相位分布,这样必然引入由于移相器的线性及非线性误差所带来的计算误差,因此需要事先对移相器进行标定.采用了数字叠栅方法,利用一幅静态干涉图与一个正弦光栅的4幅光强分布图叠加,从而实现相移式动态干涉测试的效果,借助于相移法处理干涉图原理,可获得波面相位分布,从而实现对薄膜厚度的测量.由于正弦光栅的初始相位是由计算机产生的,所给出的相位移动不含任何移相误差,因此可提高测量的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏俊宏		111	496	12.0	16.0
2	刘奕辰		1	0	0.0	0.0