双光栅尺在高速高精度位移测量中的应用

• 作者: 刘杰 殷庆纵
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 双光栅尺 高速高精度位移测量 FPGA 切换与合成
• 年，卷（期）: 2012,（17）
• 所属期刊栏目: 设计与开发
• 页码范围: 107-111
• 页数: 5页
• 分类号: TP216
• 字数: 3677字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2012.17.032

摘要

由于光栅尺本身结构上的原因,采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量.设计一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量仪,通过可编程逻辑器件FPGA对粗、精光栅尺信号进行切换与合成,实现了高速高分辨率的位移测量.实验结果表明:在光栅尺运动速度大于1.2m/s时,采用此方法可达到10 nm分辨率.它在高速高精度和大量程的直线位移测量领域具有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷庆纵	苏州工业职业技术学院电子工程系	22	44	3.0	5.0
2	刘杰		1	18	1.0	1.0