微型平面式气体火花开关的设计和制作

• 作者: 丁桂甫 周镇威 杨卓青 沈慧 陆闻静
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 火花隙开关 脉冲功率 微型平面化 微机电集成制造
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 脉冲功率技术
• 页码范围: 1256-1260
• 分类号: TN782
• 字数: 2639字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122405.1256

摘要

基于表面微加工技术,设计并制作了一种微型平面式气体火花开关,其尺寸仅为1.5cm×0.5cm,对制作的微型火花开关进行电路测试,得到其输出电流峰值约为3450A,上升时间164ns.结合实验结果,对开关器件进行电路系统仿真并提取参数,得到系统电感为26.5nH,电阻为0.066Ω,与传统机械结构的立体式火花开关相比,器件参数得到显著优化.