紫外波段SiO2／Si3N4介质膜分布式布拉格反射镜的制备与研究

• 作者: 刘斌 姬小利 张曌 张荣 李志成 江若琏 谢自力 郑有蚪 陈鹏 陶涛
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 介质膜分布式布拉格反射镜 传递矩阵方法 x射线反射
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 页码范围: 440-445
• 分类号: TN248
• 语种: 中文

摘要

采用光学传递矩阵方法设计了紫外波段Si02／Si3N4介质膜分布式布拉格反射镜，并利用等离子体增强化学气相沉积技术在蓝宝石（0001）衬底上制备了Si02／Si3N4介质膜分布式布拉格反射镜．光反射测试表明，样品反射谱的峰值波长仅与理论模拟谱线相差10nm，并随着反射镜周期数的增加而蓝移．由于Si02与Si3N4具有相对较大的折射率比，因而制备的周期数为13的样品反射谱的峰值反射率就已大于99％．样品反射谱的中心波长为333nm，谱峰的半高宽为58nm．样品截面的扫描电子显微镜和表面的原子力显微镜测量结果表明，样品反射谱的中心波长蓝移是由子层的层厚和界面粗糙度的变化引起的．x射线反射谱表明，子层界面过渡层对于反射率的影响较小，并且Si02膜的质量比Si3N4差，也是造成反射率低于理论值的原因之一．