Ti/Ti-类金刚石多层膜的制备与表征

• 作者: 毛斐 汤皎宁 虞烈 黄江涛
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ti/Ti-类金刚石多层膜 电子回旋共振一化学气相沉积 调制周期
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 页码范围: 452-460
• 分类号: O484.1
• 字数: 3356字
• 语种: 中文

摘要

采用电子回旋共振．化学气相沉积结合中频磁控溅射的真空镀膜技术，以99．99％Ti为靶材，乙炔为碳源制备了Ti/Ti-类金刚石（DLC）多层膜．利用x射线衍射仪、扫描电子显微镜、x射线光电子能谱仪对Ti/Ti-DLC多层膜进行了相结构、组织、成分及形态分析．采用显微硬度仪、摩擦磨损仪、表面粗糙度仪对Ti/Ti-DLC多层膜进行了力学性能考察．结果表明：Ti/Ti-DLC多层膜中主要含有TiC晶相；Ti层和Ti-DLC层中未出现柱状晶体生长模式，分层中均以岛状模式生长；当调制周期A≤50nm时，分层结构变模糊；调制周期以对Ti用．DLC多层膜的复合硬度、摩擦系数、表面形貌、表面粗糙度都有影响，当调制周期以较小时表现出纳米增硬效应，表面出现大颗粒，表面粗糙度和摩擦系数均变大．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	虞烈	西安交通大学机械工程学院	174	3150	31.0	46.0
2	汤皎宁	深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室	93	614	13.0	20.0
3	毛斐	深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室	5	9	2.0	2.0
4	黄江涛	深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室	1	3	1.0	1.0