硅薄膜的短波红外光学特性和1.30μm带通滤光片

• 作者: 余德明 刘定权 庄秋慧 李大琪 段微波 陈刚
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 光学特性 带通滤光片 短波红外
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 277-280
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201232.1031001

摘要

在短波红外区域(1～3 μm),硅薄膜材料因其具有折射率高、透明性好、膜层应力易匹配等诸多优点而得到广泛应用.基于改进后的Sellmeier模型拟合出了制备的硅薄膜的短波红外光学特性,以此为基础,选用硅和二氧化硅两种材料,设计并制备出中心波长在1.30 μm,相对带宽2.46％的带通滤光片.利用了硅薄膜在波长小于1.0 μm波段的吸收特性较好地扩展了带外截止范围.测量结果表明,具有2个谐振腔的带通滤光片峰值透射率达到85.8％,半功率带宽控制在约32 nm,带外截止范围覆盖了波长小于1.75 μm的光谱区域.