薄膜热电偶温度传感器研究进展

• 作者: 杨丽红 赵源深
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜热电偶 赛贝克效应 尺寸效应 扩散 动态标定
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1-3,7
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3632字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2012.02.001

摘要

随着低维材料技术的发展和对测温要求的提高,薄膜热电偶温度传感器应运而生,其快速响应特性为测量瞬变温度提供了可能.综述了薄膜热电偶温度传感器国内外发展现状,着重介绍了薄膜临界厚度的确定、扩散现象的影响、制备工艺等关键技术,并对其未来发展做出了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨丽红	上海理工大学机械工程学院	61	267	9.0	14.0
2	赵源深	上海理工大学机械工程学院	3	51	3.0	3.0