篇名 | Enhancing the thermal conductivity of polymer-assisted deposited Al2O3 film by nitrogen doping | ||
来源期刊 | 中国物理B(英文版) | 学科 | |
关键词 | nitrogen-doped Al2O3 thin film thermal conductivity polymer-assisted deposition | ||
年,卷(期) | 2012,(12) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 372-376 | |
页数 | 5页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 英文 | |
DOI | 10.1088/1674-1056/21/12/126501 |