磁流变加工对中频误差的影响

• 作者: 侯晶 徐曦 杨李茗 石琦凯 雷向阳
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 磁流变 中频误差 走刀间距 抛光斑稳定性 去除深度
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 激光与光通信
• 页码范围: 1695-1699
• 分类号: TQ171.73
• 字数: 2794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122407.1695

摘要

基于传统抛光的亚表面损伤层厚度,进行磁流变去除亚表面损伤层的实验以便验证在该加工方式下对元件中频误差的影响.计算机模拟结果及实验数据表明:磁流变加工的走刀间距会引起中频误差评价指标PSD曲线出现对应频率的峰值;抛光斑的不稳定性会引起PSD曲线出现不确定的次主峰；去除深度与PSD曲线峰值之间有近似的线性关系.采用磁流变作为亚表面损伤层的去除手段,元件的中频误差质量受加工参数影响很大.如果前级加工不佳导致留下的亚表面损伤层较深,用磁流变加工进行去除时会造成中频误差质量超过限定指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石琦凯		17	184	8.0	13.0
2	杨李茗		35	223	9.0	12.0
3	雷向阳		6	55	5.0	6.0
4	徐曦		2	17	2.0	2.0
5	侯晶		11	95	7.0	9.0